1、 8.863 2013 10-30 8.8632013 II 1 - - ( ) 2 386 3 22 2013 . 2110- 4 1.02012 ( 8). ( 1 ) , . () . , (gost.ru) , 2014 , 8.8632013 1 10 - 30 State system for ensuring the uniformity of measurements. Insruments for measurement power and irradiance in the wavelength range from 10 to 30 nm Verification pro
2、cedure 20150101 1 ( - ) , ( - ) ( - ) 10-30 , . 10 - 30 , 10- 7 , 210- 4 , 0,01 /2, 20 /2. . 2 : 8.552 - 2001 . 0,03 0,40 . 8.736 - 2011 . . . , 1 , , , . , , (). , , , , , . , , , , . 3 , 1. 8.8632013 2 1 8.1 + + 8.2 + + 8.3 + + 8.3.1 + + 10-30 8.3.2 + + , . 8.3.3 + + 8.3.4 + + + , , - 4 , 2. 2 , 8
3、.3.1 10 - 30 162-3-2003 8.552. ( - ): 3 %. 8.3.2 10 - 30 162-3-2003 8.552. : 4 %. 8.3.3 162-3-2003 8.552. : 5 %. 8.3.4 162-3-2003 8.552. : 5 %. 5 , -, , . 6 . , III, . 7 : 8.8632013 3 - .(20 5) ; - (65 15) %; - .(84 - 104) ; - .(220 4) ; - .(50 1) . 8 8.1 : - ; - , ; - ; - ( ); - , . 8.2 : - ; - , .
4、 8.3 8.3.1 , , ( - ) , 1 10 - 30 0 . , ( ) 8.552 10 30 . , , , UV, 8.552. 10 30 , . I() I() 1 10 30 . J() J(), . i- i () () i () = () Ii() Ji() Ii() Ji(). (1) (). S0 n 5 ()- i()2 1/2 i=1 S0 = . (2) () n ( n-1)1/2 0 8.552 ( ). S 8.8632013 4 S = ( S02 + 02 /3 )1/2 . (3) 10 30 5 %. 1, , () S (), 30 30
5、E() S() d E () S () d 10 10 1 = | - 1 | 100, (4) 30 30 E () S () d E () S() d 10 10 () ; () . . () () 3 7. 1 8 %. 3 E (), . 450 1,0 , E () 9,0 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 31 1,0 0,8114 0,5388 0,3768 0,2744 0,2064 0,1596 0,1260 0,1014 0,0830 0,0688 0,0576 0,0532 8.8632013 5 4 E (),. I , E () , E
6、 () 10,0 10,5 11,0 11,5 12,0 12,5 13,0 13,5 14,0 14,5 15,0 15,5 16,0 16,5 17,0 17,5 18,0 18,5 19,0 19,5 0,299 0,489 0,161 0,175 0,109 0,095 0,474 1,000 0,832 0,825 0,474 0,336 0,321 0,175 0,086 0,056 0,038 0,025 0,018 0,015 20,0 20,5 21,0 21,5 22,0 22,5 23,0 23,5 24,0 24,5 25,0 25,5 26,0 26,5 27,0 2
7、7,5 28,0 28,5 29,0 29,5 30,0 0,007 0,009 0,008 0,008 0,015 0,009 0,015 0,009 0,007 0,011 0,014 0,007 0,014 0,012 0,006 0,013 0,015 0,007 0,011 0,014 0,009 5 E ( ) ., II , E(), . 9 11 13 13,5 14 15 16 18 20 30 0,220 0,288 0,920 1,000 0,910 0,733 0,522 0,264 0,204 0,173 6 E(),. - III , E(), . , E(),.
8、10,0 10,5 11,0 11,5 12,0 12,5 13,0 13,5 14,0 14,5 15,0 15,5 16,0 16,5 17,0 17,5 18,0 18,5 19,0 19,5 0,009 0,009 0,009 0,010 0,013 0,039 0,106 1,000 0,508 0,267 0,164 0,113 0,132 0,109 0,096 0,094 0,092 0,087 0,074 0,081 20,0 20,5 21,0 21,5 22,0 22,5 23,0 23,5 24,0 24,5 25,0 25,5 26,0 26,5 27,0 27,5
9、28,0 28,5 29,0 29,5 30,0 0,086 0,084 0,079 0,086 0,083 0,082 0,086 0,079 0,085 0,088 0,082 0,087 0,083 0,085 0,084 0,083 0,086 0,084 0,083 0,085 0,083 8.8632013 6 7 E(), . IV , E(), . , E(), . 8,00 8,25 8,50 8,75 9,00 9,25 9,50 9,75 10,00 10,25 10,50 10,75 11,00 11,25 11,50 11,75 12,00 0,175 0,226 0
10、,263 0,336 0,584 0,504 0,460 0,474 0,299 0,394 0,489 0,292 0,161 0,146 0,175 0,102 0,109 12,25 12,50 12,75 13,00 13,25 13,50 13,75 14,00 14,25 14,50 14,75 15,00 15,25 15,50 15,75 16,00 16,25 16,50 0,073 0,095 0,153 0,474 0,803 1,000 0,978 0,832 0,788 0,825 0,672 0,474 0,394 0,336 0,285 0,321 0,263 0,175 8.2.1 10-30 10-30 . () . I I . =
