1、KSKSKSKS KSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS 2006 12 18 http:/www.kats.go.krKS B ISO 13696 KS B ISO 13696： 2006 (2011 ) B ISO 13696： 2006 : ( ) ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ：2006 12 18 ：2011 12 30 2011-0716 ： ： ( 02-509-7274) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . ICS 31.260 KS B ISO 13696： 2006(20
2、11 ) Optics and optical instruments Test methods for radiation scattered by optical components 2002 1 ISO 13696 Optics and optical instruments Test methods for radiation scattered by optical components . 1. . . 10 m . , . 2. . . KS B ISO 11145 KS B ISO 14644 1 1： 3. , 3.1 KS B ISO 11145 . 3.1.1 3.1.
3、2 3.1.3 3.1.4 (halfspace) . 3.1.5 . 3.1.6 . 3.1.7 (polytetrafluoro- ethylene) ( 2 ). 2 B ISO 13696： 2006 2 0.98 100 % . ( 5 ). 3.1.8 3.1.9 1. . 2. (KS B ISO 12005 ). 3.2 1 nm () () d mm Pinc W Pbac , W Pfor , Sbac Sfor Vs,bac , V Vs,for , Vc , V Vu , V s s ri mm N 4. 4.1 ( 1 ) . (Ulbricht sphere) .
4、. . . . . . 4.2 4.2.1 . . . . B ISO 13696： 2006 3 1 11 2 (chopper) 12 3 13 4 14 5 15 , 6 16 7 17 8 18 9 19 10 1 ( ) 4.2.2 . . . . . 4.2.3 . , . d 0.4 mm . 2.5 . 1. ( D ). d 3 . B ISO 13696： 2006 4 TEM00 . . . . . 2. . . . 3. . . 4.2.4 . . (Lambertian) . 2 . 2 m 0.351.4 0.258.0 0.202.5 , matt 0.7020
5、. . . . . . 285 . 2.0 . . 5 . ( 72 .) . , (vignetting) . . 250 nm . . . (Coblentz) . A . 4.2.5 . 2 % 105 . B ISO 13696： 2006 5 . . . . . . . . 4.2.6 . . 4.3 10 4 . TEM00 . . . (Rayleigh) . . 4.4 , . . , . , , . , . . 4060 % , . 24 . . 3 . . 3 TS % TS 0.1 7 0.1 TS 0.01 6 TS 0.01 5 KS B ISO 14644 1 .
6、. . . B ISO 13696： 2006 6 5. 5.1 3 . . 5.2 5.2.1 . 5.2.2 . . . 5.2.3 , . . , . . . . 1.5 . , ( 5 ). . . . 5.3 , Vs,bac, Vs,for . . . . . Vc . . 5 ri . ri . Vu . 6. 6.1 Vs Vc . =NiiirVrVNS1cfors,rsfor,)()(1 (1) =NiiirVrVNS1cbacs,rsbac,)()(1 (2) (1) (2) Vc(ri) ri . Sfor,rs Sbac,rs rs . 2 3 ( 2 ) . B I
7、SO 13696： 2006 7 2 ri Vc : cfors,scfor,)()(VrVrSii= (3) cbacs,scbac,)()(VrVrSii= (4) 2. (1), (2), (3), (4) Vu . . Vc Vc(ri) . Sfor,sc Sbac,sc sc . (S, S dS) S Sfor,sc(ri) Sbac,sc(ri) ( 3 ). dS (S, S dS) ( C ). 3. (S, S dS) S S dS S S dS . ( 3 ). (Sfor, Sbac)： (Sl,for, Sl,bac)： 90 % (Su,for, Su,bac)：
8、 90 % . C . . B ISO 13696： 2006 8 3 Vu Vu . Vu , : = =NiiiVrVVrVNS1ucusfors,for)()()(1 (5) = +=NiiiVrVVrVNS1ucusbacs,bac)()1()(1 (6) ucsfors,for)()()(VVVrVrSuii= (7) ucusbacs,bac)1()()(VVVrVrSii+= (8) ： ： ( ) ( ) . VS,bac VS,for Vu . . 6.2 (error budget) . . 4 . B ISO 13696： 2006 9 , . . 4 , Pinc ,
9、d 5 % 3 % 2 % , , Vu3 % 2 % 5 % 0.5 10-6 1.2 10-6 1. 2. Pinc Pinc , Pbac Pfor Pinc . 7. . a) 1) 2) 3) 4) b) 1) , , 2) ( , , , ) 3) 4) ( , , , , ) c) 1) ( , , , ) 2) ( , , , ) 3) ( , , ) 4) ( , , ) 5) ( 4 ) 6) 7) 8) 9) 10) 11) 12) B ISO 13696： 2006 10 d) 1) 90 % 2) , ( 2 ) 3) , ( ) 90 % ( 3 ) 4) ( ) B . B ISO 13696： 2006 11 A() (Coblentz) A.1 ( ) ( A.1 ). / . . . 200 nm . . . , , 1.6. , . A.2 A.2.1 . . . UV IR ( 200 nm 10.6 m) . 2.085 . / . ( A.1 ). / . . . ( ) . .
