1、 8.7442011/ISO/TR 14999-3:2005 . 3 , ISO/TR 14999-3:2005Optics and photonics Interferometric measurementof optical elements and optical systems. Part 3: Calibration and validationof interferometric test equipment and measurements(IDT) 8.7442011/ISO/TR 14999-3:2005II 27 2002 . 184- , 1.02004 . 1 - (
2、)2 53 -3 - 13 2011 . 1067-4 IS/TR 14999-3:2005 . . 3. (ISO/TR 14999-3:2005 Optics and photonics Interferometric measurement of optical elements and optical systems. Part 3: Cali-bration and validation of interferometric test equipment and measurements)5 , . () . , , 2013 , - - 8.7442011/ISO/TR 14999
3、-3:2005 III1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13 , . . . . . . . . . . . .
4、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5、 . . .23.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .24 (- -) . . . . . . . . . . . . . . . . . . .34.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .34.2 . .
6、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .34.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55.2 . . . . . . . . . . . . . . . . .
8、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .75.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85.4 . . . . . . . . . . . . . . . . .
9、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .185.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .186 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .206.1 . . . . .
10、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .206.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .216.3 . . . . . . . . . . . . . . .
11、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .266.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .296.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
12、. . . . . .31 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .32 8.7442011/ISO/TR 14999-3:2005IV (ISO/TC 172/SC1) 10110 , 5 - 14 . -, . ISO/TC 172/SC1 - . , - , . . , . - , . , -, . , ( ), (, ), - , . , -
13、, -, , - , (). 10110 . , - - ( ) , - ( = 613 ) . ( 14999) - , ( ) . , ( 14999) - - . , . - , . 14999 - . 2- 10,6 ( ) 193 248 . . - 14999 .1 201303011 . , - .2 :2.1 : .2.2 : , , .2.3 : , , .2.4 : , - , .2.5 : , -, , , - .3 , 3.1 , , , , , , . - , . 8.7442011/ISO/TR 14999-3:2005 . 3 , State system for
14、 ensuring the uniformity of measurements. Optics and photonics. Interferometric measurement of optical elements and systems. Part 3. Calibration and validation of interferometers, methodology of optical uavefronts measurement 8.7442011/ISO/TR 14999-3:20052 - . - . . - ( ). - . . . . , . . , . -, (. . - , ). . - , . , - , . , , , .3.2 , . - , - :- ; ;- ; - -
