1、 . 2 ISO/TR 14999-2:2005Optics and photonics Interferometric measurementof optical elements and optical systems Part 2: Measurement and evaluationtechniques(IDT) 8.745 2011/ISO/TR14999-2:20052014 8.7452011/ISO/TR 14999-2:2005 27 2002 . 184- , - 1.02004 . 1 - ( ) , 42 53 3 - 13 2011 . 1068-4 / 14999-
2、2:2005 -. . 2. (ISO/TR 14999-2:2005 Optics and photonics Interferometric measurement of optical elements andoptical systems Part 2: Measurement and evaluation techniques)5 - , . () - . , - - , 2014 , - - II 8.7452011/ISO/TR 14999-2:2005III11123344413151515192125272829323232323233333333333445471 . .
3、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.2 , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.3 .
4、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3.2 . . . . .
5、. . . . . . . . . . . . .3.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
6、.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . .4.5 . . . . . . . . . . . . . . .4.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4.7 ; , . . . . . .4.8 . . . . . . . . . . . . . .5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5.1 . . . . . . . . . .
7、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5.2 . . . . . . . . . . . . . . .5.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
8、. . . . . . . . .5.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5.7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5.8 (, ) 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . () . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . () .
9、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .IV 8.7452011/ISO/TR 14999-2:2005 14999 , - ( ) () . () , 14999 (, ) - . , - . , . 14999 - . - 2- 10,6 ( ) 193 248 . - . 14999 .1 8.7452011/ISO/TR 14999-2:2005 . 2 State system for ensuring the uniformi
10、ty of measurements. Optics and photonics. Interferometric measurementsof optical elements and systems. Part 2. Measurements and evaluation techniques 201303011 , - , , ( ).2 2.1 2.1.1 : . - . - nd, , ( ). W, - d , W = 2nd, W = (n2 n1)d.2.1.2 , n1 n2, Rnnnn=+21212.(1) R 4 % 6 %; 5 % . . , -. - . - ,
11、, . (, , ), .2 . , - , (). - (, ) , - , .2.1.3 , , .2.1.4 - , , . , ( ). -, . .2.1.5 , n 2, . - , - 30 ) - 45 . , , , - . 8.7452011/ISO/TR 14999-2:20057 - - - . . - . , - , , , - ( 90 ), .3.2.3 , - , . , , , - . , , , . , . , , . . . , - , , , . , , , . -, , . , - ( ). 1 . 8.7452011/ISO/TR 14999-2:2005LD ; ; R . 1 SR ST () SR ST , R ( ) - T . SR ST. , . -
