1、llDC 621. 38. 032. 1 : 620. 1 L 32 GB 中华人民共和国国家标准吸气剂性能测试方法Test method of getter properties 1988-06-251发布1988-12-01实施筐东标准.，发布050928071681 GB 9506. 1-88 GB 9506. 2-88 GB 9506. 3-88 GB 9506. 4-88 GB 9506.5一-88GB 9506. 6-88 GB 9506. 7-88 GB 9506.8一-88GB 9506. 9-88 GB 9506. 10一-88GB 9506.门-88目录吸气刑性能测试方法通
2、则. ( 1 ) 蒸散型顿吸气剂得顿量测试方法.(5) 蒸散型锁吸气剂载料和膜中顿量的测定.(10) 吸气剂放气量测试方法. .,. .,. (1 4) 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法.(20) 掺氮吸气剂顿膜分布测试方法.，.(25) 蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.，.(30) 非蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.(37) 吸气剂装载量测试方法.(42) 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法. . . . . . . . . . . . . . . (44) 吸气剂支架焊接强度测试方法.，.(47) 中华人民共和国国家标准掺氮吸气剂银膜分布测试方法Test method for barium
3、film distribution of nitrogen-doped getter 本标准规定了掺氨吸气剂顿膜分布测试方法，适用于测定沉积在模拟玻壳颈、锥、屏上顿膜的重量分布和锥、屏上顿膜的厚度分布。测定条件应符合GB9506.1 吸气剂性能测试方法通则中的有关规定.1 目的了解掺氮吸气剂顿膜在模拟玻亮中的分布，考察掺氮吸气剂掺氮效果。2 原理根据模拟试验的需要，选用不同的政壳，利用磁铁把特定尺寸的小镰片固定在玻壳锥、屏的规定位置，而后将其抽真空，并在静态真空下，通过高频感应加热，蒸散试样，顿就会沉积在小锦片及颈、锥、屏上，利用化学分析方法，测出锁膜在颈、锥、屏上的重量分布和锥、屏上的厚度分
4、布。3 设备a. 测试系统见图1):中华人民共和国电子工业部1988-04-04批准1988-12-01实施25 GB 9506. 6-88 9 / AV i 8 16 13 15 14 7 6 5 4 3 2 图1顿膜分布测试系统示意图1一机械泵12一低真空阀113一扩散泵14一离真空碟阀15一放气阀116一隔离阀17一密封圄18一试样19一模拟玻壳s10一小镇片d1一磁铁d2一高锁线圈d3一潘宁规114一低真空阀2115一皮喇尼规d6一放气阀2b. 高频感应加热器sC. 原子吸收分光光度计sd. 分析天平，e. 有机玻璃防护罩。4 试剂与材料a. 磁铁若干个sb. 镰片厚度为0.3.，0.
5、6mm，直径为15-25mm)若干片sC. 胶带纸，d. 钢瓶乙快气体se. 钢瓶氧化亚氯气体s26 GB 9506. 6-88 f. 顿标准液。mg/ml):将1.778 g优质纯氯化顿溶于水中，稀释至1000ml, g. 盐酸溶液。+99)，h. 饵离子椿液(20mg/ml):将38.13 g纯氯化饵溶于水中，稀释至1000ml, t 盐酸溶液(3%-5%).5 测试步骤5.1 测试前准备工作5. 1. 1 根据试样的型号，选用相应玻壳，用3%-5%的盐酸溶液清洗玻壳，并用去离子水清洗三次后烘干。5.1.2 根据试样型号选择镰片大小，并用3%-5%的盐酸溶液泡洗5min以上，再用去离子水冲
6、洗三次。烘干。5.1.3 借助于玻亮外磁铁将管内镰片移至图2中规定处，用胶带纸把磁铁固定.5.1.4 把试样焊在电子枪支架上黑白管或天线式支架上影管).制成试件.用分析天平称童，按成晶管中的位置装配.5.1.5 借助于氟橡胶密封圈将试验玻壳接至被抽系统上。根据不同的管型，固定好高频线圃.罩上大型防护罩。5.1.6 利用抽气系统对试验管排气，使极限压力低于2X 10-3Pa. 5. ,. 7 关闭高真空阀，测出系统漏放率，在60s内的漏放率应小于1X 10-3Pa L/s. 5. .8 开启高真空间，把系统抽至极限压力。5.1.9 关闭隔离阀，按正常的燕散工艺燕散试样。5.1.10 蒸散试样1m
7、in后，打开隔离阀，把玻亮与排气系统接通。5.1.11 15 min后，关闭高真空阀，并对试验系统放大气。5.1.12 升起防护罩，取下玻壳，小心地取出试件，立即称重。5.1.13 将玻壳内镰片按其位置编号，逐一跑置于相应编号的烧杯中，加入少量水.5.1.14 按如下步骤取样，测定颈、锥、屏上顿量z5. 1. 14. 1 管颈顿量取样把已取出镣片的政壳屏向上，颈口向下倒立，用专用橡皮塞塞住颈口，将0+99)的盐酸溶液加至管颈和锥的分界处，清洗顿膜，并将洗后溶液和未溶物一起放入500ml烧杯中。再用。+99)盐酸溶液洗两次，去离子水洗三次后，把洗液和剩余未溶物一起倒入500ml烧杯中。5. 1.
8、 14. 2 屏剩余顿量取样用滤纸把颈内部水分擦净后，将试验管正立，用持制长颈漏斗，放置接近屏面，从漏斗中加入50ml 左右的0+99)盐酸溶液，取出漏斗，并用手轻轻摇晃玻亮，促使屏上顿膜溶于盐酸溶液(注意不要把溶液摇晃到锥上).而后用移液管将洗后溶液吸出，放入500ml烧杯中。再用。+99)盐酸溶液洗两次，去离子水洗三次后，把洗液和剩余未溶物一起倒入500ml烧杯中。5. 1. 14. 3 锥剩余顿取样将70ml的(1+99)盐酸溶液倒入玻壳，并摇晃玻亮，使锥上顿膜溶于盐酸溶液中，将此溶液倒入500 ml烧杯里。再用。+99)盐酸溶液洗两次，去离子水洗三次后，把洗液和剩余未溶物一起倒入500
9、 ml烧杯中.5.2 测定方法按GB9506.3 燕散型顿吸气剂载料和膜中顿量的测定方法进行。5.3 数据处理5.3.1 各镰片上顿量由下式计算27 GB 9506. 6-88 m. = Bai V _. . (门式中:tn.一一第s个镰片上顿的质量，j.1g;Ba.-一在标准溶液系列曲线上查得试样的顿量，g;V一一一试样所选择的稀释倍数。每个镣片上顿膜的厚度由下式计算式中:-一一顿膜厚度，nm;S一一镰片面积，cm2，阳一一顿的密度，g/cm3。5.3.2 颈、锥、屏上顿量的测定。=-2坐一.10 . . ,.,.(2) 。.p1lo a. 5.2条中用分光光度计测出5.1. 1-1. 1条
10、中的顿量即为颈上顿量Fb. 5.2条中用分光光度计测出5.1.14.2条中顿量与锥上所有镰片上顿量之和即为锥上顿量Fc. 5.2条中用分光光度计测出5.1. 14. 3条中锁量与屏上所有小镜片上顿量之和即为屏上顿量。8 测试报告6. 1 屏、锥上领膜厚度分布的测试报告见表1和国2.编号厚度1 2 3 4 5 !学!皇28 表I屏、锥上顿膜厚度分布数据编号厚度6 7 8 9 10 厚度位置十，_J位置, , -, a.民轴方向领牍分布mm 编号厚度12 13 n -一一一一一一一一一一一一】!早!主厚度GB 9506. 6-88 位荒一一气、-7 / b.短轴方向锁膜分布主.，.-位置/ 图2屏
11、、锥上顿膜厚度分布曲线6.2 玻壳颈、锥、屏上韧、膜重量分布见表2表2颈、锥、屏上顿膜分布颈力日锥屏领膜总量锁量百分率盯锁量百分率锣、量百分率领量百分率(mg) % (mg) % (mg) % (mg) % 注:1)回收率指得到锁膜总量与试样得银量的百分比.2)各部分领量与锁膜总量的百分比就是百分率.7 主要误差来源8. 仪表误差;b. 操作误差Ec. 环境误差。8 注意事项为了防止模拟玻壳爆峙，应在测试系统外面加防护罩。附加说明:本标准由七囚一厂负责起草。本标准主要起草人:戴荣道、段华云。厚度得锁量试验回收率1)(mg) (%) 29 T由r-0的白.-cmmmu 中华人民共和国国家标准吸气剂性能;IJ试方法G臼506.1-9506.门-88 电子工业出版社出版(北京万寿路27号)河北省清河县印刷厂印刷中国电子技术标准比研究所发行版权专用不得翻印 开本:88川2301/16印张3字数:97千字1990年7月第一版1990年7月第一次印刷印数:1一1000册定价:4.70元 ISBN 7-5053-1185-9/TB 237
