DIN 50450-2-1991 Testing of materials for semiconductor technology determination of impurities in carrier gases and doping gases determination of oxygen impurity in N Ar He Ne and .pdf
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1、DIN1 DIN 50450 TEIL 2 91 2794442 008329b 645 DK 661.9 : 621.315.61 : 620.1 : 543.272.1 DEUTSCHE NORM Mrz 1991 I Prfung von Materialien fr die Halbleitertechnologie Bestimmung von Verunreinigungen in Trger- und Dotiergasen Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und
2、 Wasserstoff mittels einer galvanischen Mezelle - DIN 50450 Teil 2 Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N, Ar, He, Ne and H, by using a galvanic cell Essai de matriaux pour la technologie
3、 des semiconducteurs; determination de la contamination des gaz porteurs et des gaz dops; dtermination de la contamination de loxygne dans N, Ar, He, Ne et H, avec une cellule galvanique 1 Anwendungsbereich und Zweck Das Verfahren dient dazu, den Volumenanteil an Sauer- stoff in den Gasen dieser Nor
4、m zu bestimmen. Es erfat eine Anteilsbestimmung zwischen 1 und 10 LI/I und kann fr die Analyse des Sauerstoffrestgehaltes in den Gasen Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff einge- setzt werden. Die Anwendbarkeit auf weitere Gase und niedrigere Nachweisgrenzen ist jeweils zu prfen. 2 Einhei
5、ten Die Angabe des Volumenanteils erfolgt in /l. 3 Grundlage des Verfahrens Das zu untersuchende Gas wird mit einer genau einzu- haltenden Strmungsmenge durch eine galvanische Mezelle geleitet. Das Meprinzip besteht in der Messung des in der galva- nischen Mezelle entstehenden Stromes, der dem Sauer
6、stoffgehalt des durchstrmenden Gases propor- tional ist. 4 Gerte Zur Meanordnung gehren: - Druckminderer, geeignet fr Reinstgase - Hochdruckseitig angeordnete Einheit zur Splung mit Nullgas. Die medienfhrenden Teile mssen aus Metall, vorzugsweise Edelstahl, bestehen. - Meeinheit auf der Basis galvan
7、ischer Mezelle mit Elektrolyt. - Edelstahlleitung zur Verbindung von Gas-Reduzier- und Meeinheit mit mglichst kleinem Volumen. Bei Ver sc h rau bu n g e n vorz u- sehen. - Durchflumegerte auf der Basis von Seifenblasen- strmungsmesser oder ein kalibrierter Strmungs- messer. - Thermometer mit einer F
8、ehlergrenze von AT = 0,5OC si n d Metal Id ich t u n g e n 5 Chemikalien - Elektrolyt zum erstmaligen Befllen der Mezelle - Qualitt und Konzentration nach Angabe des Gerte- herstellers. - Reinstgas (Volumenanteil Sauerstoff maximal 3 pVI) zur Herstellung von Nullgas. - Gegebenenfalls weitere Chemika
9、lien nach Angaben des Gerteherstellers. - Kalibriergas mit definiertem Volumenanteil Sauerstoff, maximal 1 O pV1, relative Analysenunsicherheit nach Angaben des Herstellers, jedoch nicht grer als ? 2 %. Minimaler Entnahmedruck aus dem Vorrats- behlter 5 bar. 6 Vorbereitung 6.1 Probenvorbereitung Vor
10、 der Analyse ist sicherzustellen, da die Gasflaschen die Temperatur des Meraumes (23 k 5) OC angenommen haben. 6.2 Mevorbereitung 6.2.1 Prfung des Nullpunktes Die Prfung des Nullpunktes geschieht mit dem Nullgas. Zur Sauerstoffentfernung wird das Reinstgas ber den Sauerstoffadsorber geleitet. Die Ga
11、sdurchsatzmengen richten sich nach den Angaben des Gerteherstellers. Die Dichtheitsprfung der Anordnung geschieht analog zu den Abschnitten 7.1 bis 7.3. Der angezeigte Mewert darf einen Grenzwert von 0,2 pi/l nicht berschreiten. Liegt der Mewert ber dem Grenzwert, ist der Meauf- bau hinsichtlich Und
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