1、ICS 77.150.99 H 72 DB35 福建省地方标准 DB35/T 18732019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件 General technical specification for thermal spraying rotary silicon target 2019 - 12 - 19 发布 2020 - 03 - 19 实施 福建省市场监督管理局 发布 DB35/T 18732019 I 目 次 前言 . . II 1 范围 . . 1 2 规范性引用文件 . . 1 3 要求 . . 1 4 试验方法 . . 3 5 检验规则 . . 3 6 标志、包 装、运输和贮存 .
2、 . 4 DB35/T 18732019 II 前 言 本标准按照GB/T 1.12009给出的规则起草。 本标准由福建阿石创新材料股份有限公司提出。 本标准由福建省工业和信息化厅归口。 本标准起草单位：福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术 研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。 本标准主要起草人：张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。 DB35/T 18732019 1 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件 1 范围 本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量
3、物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬 管上的热喷涂旋转硅靶材。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1423 贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T 1551 硅单晶电阻率测定方法 GB/T 13296 锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管 GB/T 26125 电子电气产品 六种 限用物质（铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚）的测定 YS/T 935 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 3 要求 3.
4、1 原料要求 3.1.1 不锈钢衬管 钢材应为奥氏体不锈钢无缝管。 3.1.2 硅粉纯度 硅粉标称含量应大于等于99.95%。 3.2 硅涂层杂质元素限量指标 硅涂层杂质元素限量指标应符合表1的规定。 表1 硅涂层杂质元素限量指标 杂质 Al Cr Cu Ni Ti Fe V Mn Zr O N 限量/ （mg/kg） 500 10 30 50 70 350 30 50 10 6 000 1 000 DB35/T 18732019 2 3.3 外观质量 表面颜色应均匀，靶表面应平整，无裂纹，无崩边，气孔直径不大于0.5 mm，且无外来夹杂物和污 染物。 3.4 尺寸偏差 尺寸偏差应符合表2的规
5、定。 表2 尺寸偏差 部位 允许偏差/mm 衬管平直度 1 衬管长度 1 衬管内径 0.5 衬管外径 1.2 涂层材料厚度（平直部分） -0+1 涂层材料厚度（狗骨部分） -0+1 涂层材料起始点距管端部距离 1 涂层最厚处距靶管端部的距离 5 涂层狗骨部分长度 -0+3 3.5 物理性能 3.5.1 密度 涂层密度（）应大于等于2.2 g/cm 3 ，且密度均匀性偏差应小于等于2%。 3.5.2 电阻率 涂层电阻率应小于0.05 cm。 3.6 涂层有害物质指标 涂层有害物质指标应符合表3的规定。 表3 涂层有害物质指标 涂层有害物质 Pb Hg Cr（VI） PBBs PBDEs Cd 含
6、量/(mg/kg) 1 000 1 000 1 000 1 000 1 000 100 DB35/T 18732019 3 4 试验方法 4.1 原料 4.1.1 不锈钢衬管 每批检查供应商材质报告，有争议时按照GB/T 13296进行材质分析。 4.1.2 硅粉纯度 每批检查供应商材质报告，有争议时按照高分辨率辉光放电质谱法进行材质分析。 4.2 硅涂层杂质元素限量 按YS/T 935的规定进行检测。 4.3 外观质量 在照度800 lm的日光灯照条件下，通过目测和量具检验，量具精度优于0.02 mm。 4.4 尺寸偏差 使用精度优于0.05 mm的量具测量。 4.5 物理性能 4.5.1
7、涂层密度 单根产品进行破坏性取样，取样位置分别为涂层两端和中 间位置，取三组样品，每组重量在5 g 10 g，按GB/T 1423的规定测试。密度均匀性偏差根据三组样品的测试密度数值计算，取三组样品密度 数值的算术平均值作为密度平均值，每组样品密度数值未超出密度平均值的2%，判定密度均匀性偏差 合格。 4.5.2 涂层电阻率 按GB/T 1551的规定测试。 4.6 涂层有害物质指标 按GB/T 26125的规定测试。 5 检验规则 5.1 组批 产品以批为单位进行验收，以同一批材料、同一工艺连续生产、同一规格的产品为一批。 5.2 抽样 外观质量、尺寸偏差、电阻率100%检验。每批随机抽取一
8、根做硅涂层杂质元素限量、密度、涂层有 害物质限量项目检测。 DB35/T 18732019 4 5.3 出厂检验 5.3.1 出厂检验项目为：硅涂层杂质元素限量、密度、外观质量、尺寸偏差、电阻率。 5.3.2 每批产品应经生产厂检验部门按本标准规定的方法检验，并出具产品合格证后方可出厂。 5.4 型式检验 型式试验项目为本标准的全部要求。正常生产时，每年进行一次型式检验。有下列情况之一时，需 进行型式试验： a) 新产品投产时； b) 改变生产工艺或使用新原材料生产，而又可能影响产品性能时； c) 停产六个月以上再恢复生产时； d) 出现重大质量问题时； e) 国家质量监督机构提出型式检验要求
9、时。 5.5 判定规则 5.5.1 单根产品外观质量、尺寸偏差、涂层电阻率检验不合格时判定该根产品不合格。 5.5.2 硅涂层杂质元素限量、涂层密度、涂层有害物质限量检验不合格时判定该批产品不合格。 5.5.3 检验结果全部符合要求时，判定该批产品合格。 6 标志、包装、运输和贮存 6.1 标志 包装标签内容应包括： a) 制造厂名、厂址； b) 产品名称； c) 主要尺寸； d) 制造日期； e) 生产批号； f) 产品执行标准号。 6.2 包装 每根旋转靶材应单独用木箱或铝箱包装，并采用足够的防震措施。 6.3 运输 运输过程应注意防震、防潮、防压、防止污染。 6.4 贮存 应避免阳光直射、高温及腐蚀性物品侵蚀。 _ DB35/T 18732019 福建省地方标准 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件 DB35/T 1873 2019 * 2019 年 12 月第一版 2019 年 12 月第一次印刷
